Новую российскую суспензию к использованию в серийном производстве аттестовал Микрон

Микрон, который является резидентом ОЭЗ «Технополис Москва», аттестовал к использованию в серийном производстве новую суспензию отечественного производства для химико-механической полировки (ХМП). Материал соответствует всем требованиям сверхчистого микроэлектронного производства, он прошел испытания.

Суспензия состоит из частиц SiO2 размером 10-100 нм и химического реактива. Ее применяют в процессе химико-механической полировки для выравнивания поверхности межуровневого диэлектрика. Она дает возможность формировать надежные электрические соединения в системах с многоуровневой металлизацией. В техпроцессах Микрона применяют сверхчистые химические материалы, реактивы, газы и смеси, включая 5 типов суспензии для ХМП. Для того, чтобы обеспечить технологический суверенитет, ведется активная работа по замене значимых компонентов отечественными аналогами. По словам Гульнары Хасьяновой, гендиректора АО «Микрон», работу по импортозамещению материалов на сегодняшний день можно считать одним из важных приоритетов для предприятия и отрасли в целом. Сегодня 26 компонентов, которые используют в производстве, успешно аттестованы и замещены, 28 - в разработке. Предприятие готово полностью перейти на использование отечественных сверхчистых материалов в техпроцессах, проходит интенсивная проработка на постоянной основе. К сотрудничеству приглашаются все заинтересованные производители.

Теги: Технополис Москва, Микрон, разработки, Зеленоград